Etablering av masklös optisk litografi vid ProNano testbädd i Lund

Projektmålet är att stärka företagens innovationsförmåga genom tillgång till infrastruktur och expertis, med fokus på den nyinstallerade maskless aligner (MLA) en laserritare som möjliggör optisk litografi med en detaljstorlek under 1 um utan dyra masker. Målgruppen är små teknikbolag och forskare som saknar egen avancerad tillverkningsutrustning.

Företagen står inför stora utmaningar när det gäller kompetensförsörjning, tekniktillgång, samt hållbarhetskrav på elektroniken. Projektet kommer att tillföra en högre grad av resiliens och produktionsberedskap för testning och prototyptillverkning av halvledarkomponenter.

På kort och medellång sikt kommer infrastrukturen användas av företag och andra aktörer i syfte att förbättra forsknings- och innovationskapacitet och tillämpning av avancerad teknik samt etablera RISE ProNano i Lund som ett expertcentrum och en innovationshub för materialutveckling och karakterisering.

På lång sikt kommer den regionala kapaciteten att stärkas inom innovation, materialutveckling och karakterisering med specialisering inom halvledarteknologi. Detta kommer att ske genom etablering och utveckling av infrastruktur, testbäddar och demonstrationsmiljöer med tydlig näringslivsinvolvering och genom samarbete med Myfabnätverket. Företagens förmåga att arbeta med FoU, internt och med andra aktörer har ökat.

MLA_poster_A3_staende_svenska.pdf (pdf, 235.86 kB)